真空関係に使われるＫＦフランジが付いたベローズ

真空関係に使われるフランジにはＪＩＳのＶＧ／ＶＦフランジ、ＩＳＯのＫＦ（ＣＦ）フランジと超高真空に使われるＩＣＦフランジなどがあります。

これはＫＦフランジが付いたベローズです。
ベローズ内径５７ｍｍ　面間１５０ｍｍ　ベローズ板厚０．１５ｍｍ
材質はベローズもＫＦフランジも全てＳＵＳ３１６Ｌ　

他社との違いはベローズの板厚の薄さとバネ定数の低さです。バネ定数３．６Ｎ/ｍｍ

ICFフランジ（コンフラットフランジ）
超高真空装置に最も多く使用されているフランジで、金属ガスケットを使用します。 ガスケット溝にナイフエッジと呼ばれるエッジが立っておりエッジに傷がつくと真空シールを行うことができないので、取り扱いには注意が必要です。
ＪＩＳフランジと比べてボルト穴の数が多いです。 （コンフラットフランジはVarian社の商品名です）

半導体装置などに取付けられているCF TYPEベローズ　
型式ＢＣＦＫＦフランジ（ＮＷフランジ）超高真空装置の排気用、荒引き用などにもっとも多く使用されているOリング仕様のフランジです。 フランジにＯリング溝を必要としないでＯリングを取り付ける構造で、ボルト穴もなくクランプで接続、締め付けをワンタッチで行うことができるフランジで す。 （ＫＦフランジはLeybold-Heraeus社の商品名です）

半導体装置の排気 用に使用されているKF TYPEベローズ　
型式ＢＫＦVG,VFフランジJIS B2290,1968に準拠した国内の真空配管に使用されている、Ｏリングシールを使用するフランジです。

ケイジョン継手（スウェージロック社製）VCRメタルガスケット式 ナットのネジ部には銀メッキが施されています。




第１９回　関西機械要素技術展
期　間　１０月５日～１０月７日
場　所　インテックス大阪　３号館１２－２９
主　催　リード　エグジビション　ジャパン㈱

マイドームビジネスフェスタ２０１６
期　日　：　１１月３０日～１２月１日
会　場　：　マイドームおおさか

三元ラセン管工業
社長の日記
Facebookページ
ＮＣネットワーク